浙江省光学学会
Optical Society of Zhejiang
仪器名称：台阶仪
型号：DEKTAK-XT
厂家：德国布鲁克公司
特点：测量样品台阶或凹槽的垂直高度，探针直径2微米。 用途：可用于微电子、半导体、太阳能、薄膜、材料等领域实现纳米级别表面二维形貌测量。垂直分辨率最大1A；垂直范围0-1mm；单次扫描长度范围小于55mm。
说明：台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。
联系方式：陈老师 87953365
联系地址：杭州市西湖区浙大路38号浙江大学玉泉校区第三教学楼135房间
测试结果参考：
测试薄膜厚度
薄膜测试数据
凹坑深度测试
粗糙度测试
规则连续突起测试高度
台阶测试
